AOT-TB-616 Hoge precisie spincoater

De AOT-TB-616 spincoater met hoge precisie is ontworpen voor coatingprocessen op wafers, glas en keramische substraten. Hij beschikt over een traploos toerentalregelsysteem van 0-10.000 tpm, een standaard vacuümklauw van 4 inch (compatibel met substraten van 10-150 mm) en een tijdsregeling met een nauwkeurigheid van ±1 seconde (1-9999 s).

Uitgerust met een borstelloze motor van 120 W en dynamische balanceringstechnologie van 0,01 μm, garandeert het een filmuniformiteit van 10 nm. De volledig metalen behuizing (7,5 kg) is voorzien van een slimme antispatmodule en ondersteunt een optionele olievrije vacuümpomp van 85 l/min. Geschikt voor fotoresist, sol-gel, enz. Gecertificeerd volgens CE/ROHS/CCC, met 1 jaar garantie en levering binnen 10 werkdagen, voldoet het aan de behoeften van micro-elektronicalaboratoria, R&D op het gebied van fotovoltaïsche energie en universitair onderwijs.

Optionele reserveonderdelen:

1. 85L/min met olievrije pomp

2. Speciale vacuümzuiging (6 inch, 3 inch, 2 inch, 1 inch en kleiner)

AOT-TB-616 Hoge precisie spincoater

AOT-TB-616 spincoater met hoge precisie, traploze snelheidsregeling van 10.000 tpm, vacuümklauw van 4 inch voor substraten van 150 mm, uniformiteit van de filmdikte op 10 nm-niveau, CE/ROHS/CCC-gecertificeerd, snelle levering binnen 10 werkdagen, coatingoplossingen voor laboratoria en industrie.

AOT De tentoonstelling Lithium Battery Equipment biedt exposanten en bezoekers een uitgebreid platform voor presentaties, uitwisseling, samenwerking en handel. Door deel te nemen aan de tentoonstelling kunnen bedrijven de dynamiek in de sector begrijpen, marktkanalen uitbreiden, het merkimago versterken en technologische innovatie en industriële upgrading promoten.

V1: Ondersteunt de spincoater het coaten van 6-inch wafers?
A: De standaardconfiguratie omvat een 4-inch klem. Een speciale 6-inch klem is optioneel (moet bij bestelling worden opgegeven) en biedt maximale ondersteuning voor stabiele adsorptie van 150 mm substraten.

Vraag 2: Wat is de nauwkeurigheidsfout voor het snelheidsbereik van 300-10.000 tpm?
A: Door gebruik te maken van closed-loop servoregeling is de volledige snelheidsafwijking <0,5%. Programmeerbare acceleratiecurves maken compatibiliteit met stapsgewijze coatingprocessen mogelijk.

V3: Valt de garantie op de vacuümpomp?
A: De hoofdunit heeft 1 jaar garantie. De optionele olievrije vacuümpomp heeft een aparte garantie van 6 maanden, exclusief verbruiksartikelen.

Vraag 4: Welke voordelen biedt de olievrije vacuümpomp ten opzichte van conventionele pompen?
A: De olievrije pomp met een capaciteit van 85 l/min elimineert verontreiniging door olienevel in cleanroomomgevingen, verlaagt het geluid tot 52 dB en verlengt de onderhoudsintervallen tot 2.000 uur.

V5: Is de levertijd van 10 werkdagen van toepassing op aangepaste configuraties?
A: Standaardconfiguraties hebben een gegarandeerde levertijd van 10 dagen. Bestellingen met speciale klauwplaten of vacuümpompen hebben een levertijd van 3-5 werkdagen.